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美國匹茲堡大學的研究人員研發了一種元件結構,相較於目前的固態,能讓開關(switch)以真空狀態做為電晶體內的電子傳輸介質。 % M! |' l" d9 \" H6 A1 d
該研究團隊提出了一種以深溝槽、側邊曝光的金屬-氧化矽-矽三層MOS垂直結構;金屬層與矽晶層是元件的正極與負極,中間隔著絕緣氧化矽,
6 E& e+ H* l/ c, e+ m. ]而電子傳輸就是透過真空以垂直方向進行。此研究成果最近發表於7月1日出刊的《Nature Nanotechnology》期刊中,公仔箱論壇. {0 @3 A7 m+ q/ c1 C; M
論文題為「具備真空通道的金屬氧化物半導體場效電晶體(Metal-oxide-semiconductor field effect transistor with a vacuum channel)」。 os.tvboxnow.com" `& |4 T( B9 W6 i8 p: b
% |) U' a' B" k: S9 Ktvb now,tvbnow,bttvb以上研究成果也意味著回歸電子元件的起源;固態電晶體是在1947年發明,以取代體積笨重、可靠性不佳的真空管。
" A% z$ I/ ^, Z) y5 _tvb now,tvbnow,bttvb過去也有人嘗試過以固態半導體製程技術,製作小型化的真空管式電子元件,但是此概念一直在克服高電壓需求,
7 D, }8 Z: k! p7 B+ u以及與現有固態CMOS技術的相容性問題。 為此匹茲堡大學斯萬森工程學院(Swanson School of Engineering)教授Hong Koo Kim所率領的團隊,
( i. p/ c4 ~) n5 r1 ~$ Xtvb now,tvbnow,bttvb重新設計了真空管電子元件的架構;他的團隊成員還包括博士候選人 Siwapon Srisonphan 與博士後研究員Yun Suk Jung Kim。TVBNOW 含有熱門話題,最新最快電視,軟體,遊戲,電影,動漫及日常生活及興趣交流等資訊。1 T5 s8 y- u, r5 i% y( p
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該團隊發現,半導體元件中的電子若被捕捉至一個氧化物或是金屬層介面,就能輕易被提取至空氣中。 在材料介面裡的電子會形成一片電荷,7 [6 S2 c- H: K' f. @; P
也就是一種二維電子氣(electron gas);而且Kim發現,電子之間的庫倫斥力(Coulombic repulsion),讓電子能容易地從矽散發出來。
& Q3 T" m4 L" a0 {! C6 f1 Y公仔箱論壇這可催生一種低電壓元件,其內部的電子會在一個奈米級的通道中以彈道模式(ballistically)在空氣中遊走,不會有碰撞或是散射。 ( V! E5 ?/ Q. k. r5 ?
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根據論文的描述,該通道的長度約是20奈米,研究團隊並量測到20ns/ micron的跨導(transconductance),500開關比(on/off ratio),/ g& a4 m3 g4 q+ [* v2 c0 k
以及環境條件(ambient condition)下0.5V的導通閘極電壓(turn-on gate voltage)。 「這種電子系統至真空通道的發射,
- b9 i) E3 a x4 u- ]能實現全新的一系列低電壓、高速電晶體,而且這種電晶體能與目前的矽電子元件相容,為這些電子元件添加因為低電壓可帶來的更高速度與省電效益。」
, S/ F( e1 ]8 T, w/ AKim表示。 參考原文: Researchers try vacuum transistors at low voltage,by Peter Clarke |